直线光栅尺测量直线轴位置,测量期间没有任何其它机械传动件。因此,它能******以下潜在误差源:
• 滚珠丝杠温度特性导致的定位误差
• 反向误差
• 滚珠丝杠螺距误差导致的运动特性误差
因此,直线光栅尺是高精度定位和高速加工机床不可或缺的基础技术手段。
敞开式直线光栅尺设计用于超高测量精度的机器和系统。典型应用包括:
• 半导体工业的测量和生产设备
• PCB电路板组装机
• 超精密机床,例如加工光学器件的金刚石刀具,加工磁盘的端面车床和加工铁氧体元件的磨床
• 高精度机床
• 测量机和比较仪、测量显微镜和其它精密测量设备
• 直驱电机
机械结构
敞开式直线光栅尺包括光栅尺或钢光栅尺带和读数头,光栅尺和读数头间无机械接触。
敞开式直线光栅尺的光栅尺带固定在安装面上。因此,安装面的平面度是高精度直线光栅尺应用的基础条件。